壁材の2次電子放出率とそれらの表面付着物による変化

Change of secondary electron emission coefficient of wall surface due to impurity adsorption

Hiroki, Seiji; Abe, Tetsuya; Murakami, Yoshio

核融合装置においても電子衝撃による2次電子放出率は、高周波加熱装置の導波管や真空封じ窓で生じる、マルチパクタ放電の抑制対策を施す上で重要なパラメータの一つである。一般に真空装置の壁材は、表面清浄化処理を施しても残留ガス等によって時間経過とともに表面が不純物で覆われてしまう。そこで、アルゴン・イオンエッチングにより清浄化合物した試料表面に水蒸気(H $_{2}$ O)や真空グリスなどを付着させ、2次電子放出率がどのように変化するか調べた。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	32
号	:	3
ページ数	:	p.171 - 175
発行年月	:	1989/03
発表会議名	:	第29回真空に関する連合講演会
開催年月	:	1988/11
開催都市	:	大阪
開催国	:
キーワード	:	核融合

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.32.171
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : B19880701
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 9297

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