Surface chemical reactions of Al induced by low-energy D $_{2+}$ , N $_{2+}$ , CO $^{+}$ , and CO $_{2+}$ ion bombardment

低エネルギーD $_{2+}$ ,N $_{2+}$ ,CO $^{+}$ 及びCO $_{2+}$ イオンの照射によるアルミニウムの表面化学反応

アルミニウム表面に対する0.5~4keVのD $_{2+}$ 、N $_{2+}$ 、CO $^{+}$ 、及びCO $_{2+}$ イオンの衝撃による化学反応をオージェ電子分光法及び2次イオン質量分析法により追跡した。アルミニウム箔のD $_{2+}$ イオン衝撃により、AlD $^{+}$ 、AlD $_{2+}$ 及びAl $_{2}$ D $^{+}$ が生成した。これら2次イオンはD $_{2}$ 雰囲気でのAr $^{+}$ イオン衝撃によっても生成した。2次イオン収量の経時変化及び衝撃雰囲気・温度依存性から、これら2次イオンの生成は、D $_{2+}$ イオンによる逐次表面化学反応から生成するアルミニウム重水素化物に起因するものと結論した。一方、N $_{2+}$ イオン衝撃による窒化アルミニウムの生成量は、N $_{2+}$ イオンのエネルギーに依存した。窒化アルミニウムによって部分的に覆れたアルミニウム表面は酸素との反応性が著しく高いことを見出した。また、CO $_{2+}$ イオンの衝撃によりアルミニウムの炭化物と酸化物が同時に生成するのに対し、CO $^{+}$ イオンの衝撃では炭化物が選択的に生成した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
巻	:	59-60
号	:
ページ数	:	p.936 - 939
発行年月	:	1991/00
発表会議名	:	7th Int. Conf. on Ion Beam Modification of Materials
開催年月	:	1990/09
開催都市	:	America
開催国	:
キーワード	:	イオン照射; 表面構造; オージェ電子分光; SIMS; 2次イオン; 表面化学反応

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/0168-583X(91)95736-W
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広報プレスリリース	:
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登録番号 : B19900324
抄録集掲載番号 : 190821
論文投稿番号 : 10632

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Surface chemical reactions of Al induced by low-energy D, N, CO, and CO ion bombardment

低エネルギーD,N,CO及びCOイオンの照射によるアルミニウムの表面化学反応

Surface chemical reactions of Al induced by low-energy D $_{2+}$ , N $_{2+}$ , CO $^{+}$ , and CO $_{2+}$ ion bombardment

低エネルギーD $_{2+}$ ,N $_{2+}$ ,CO $^{+}$ 及びCO $_{2+}$ イオンの照射によるアルミニウムの表面化学反応