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Kr$$^{+}$$照射による有機材料表面構造の変化に関する研究

Structural change of Kr$$^{+}$$ irradiated organic material

中瀬 吉昭

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有機高分子材料、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミドなどに低エネルギーKr$$^{+}$$を照射したときの表面構造の変化に関して研究した。Kr$$^{+}$$照射により被照射表面は、金属光沢のある灰色に着色する。これは、O、H、N等の元素が、Cに優先してスパッタされ、炭素化が起こることによる。XPS、RBS等の測定によりこれを確認するとともに、Kr原子が保持されていることも明らかになった。赤外光、紫外光の吸光度変化の測定から、C=Cが増加していること、またC=Oも生成していることがわかった。

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