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Spindt型冷陰極電子源からの電子放出特性

Characteristics of spindt-type cold cathode

荻原 徳男; 志甫 諒; 渡辺 聡彦*; 坂本 慶司; 菊地 正彦; 大谷 俊介*; 石塚 浩*

Ogiwara, Norio; not registered; not registered; Sakamoto, Keishi; not registered; not registered; Ishizuka, H.*

冷陰極は現在極高真空との関連で注目をあつめている。すなわち、真空を乱すことなく電子を引き出せるので、電離真空計において熱陰極の代わりに電子源として使用することが考えられている。一方、自由電子レーザーへの応用という観点からも冷陰極は注目される。それは高輝度でエネルギーの広がりがきわめて少ない電子ビームを取り出しうるからである。1cm$$^{2}$$あたり10$$^{7}$$個のチップが組込めれば、ビーム径1cm$$^{phi}$$・電流1KAの電子ビームが生成可能となる。ところで、大電流をうるには耐熱性の問題から、パルス的な引き出しとなる。そこで我々はパルス的な運転における冷陰極電子源の特性を調べた。その結果、電圧の印加される時間に同期して,フィールドエミッションによる放出電流を確認した。今後、パルス巾の短縮・電流値の増大をはかる。

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