Spindt型冷陰極電子源からのガス放出

Outgassing from the spindt-type cold cathode electron source

超高真空の計測への応用を目的として、Spindt型冷陰極電子源を市販の四重極質量分析計のイオン化室に組み込んで、放出ガス特性を調べた。その結果、(1)Spindt型冷陰極電子源からの放出ガスとしては、H $_{2}$ 、O,F,CO,CO $_{2}$ が主なものである。Fは素子の製造プロセスに起因する。(2)同電子源を用いた分圧測定では、H $_{2}$ Oのピークが極微少であり、熱フィラメントのように周囲の電極を加熱することなく分圧測定が可能である。ことがわかった。Spindt型冷陰極電子源を脱ガス処理することなどにより、放出ガスの低減を試みる予定である。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	36
号	:	3
ページ数	:	p.325 - 327
発行年月	:	1993/00
発表会議名	:	第33回真空に関する連合講演会
開催年月	:	1992/10
開催都市	:	大阪
開催国	:
キーワード	:	超高真空; 分圧測定; 冷陰極電子源

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.36.325
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登録番号 : B19920665
抄録集掲載番号 : 210546
論文投稿番号 : 11789

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