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XPS studies on the charge states of Cr and Cu atoms implanted into $$alpha$$-Al$$_{2}$$O$$_{3}$$ and MgO single crystals

イオン注入した$$alpha$$-アルミナおよび酸化マグネシウム単結晶におけるCrおよびCu原子の荷電状態のXPSによる研究

二神 常爾*; 青木 康; 依田 修; 永井 士郎; D.M.Rueck*

not registered; Aoki, Yasushi; Yoda, Osamu; Nagai, Shiro; D.M.Rueck*

$$alpha$$-アルミナおよび酸化マグネシウムの単結晶に200keVおよび300keVのCr$$^{+}$$あるいはCu$$^{+}$$を注入してXPSスペクトルを測定した。スペクトルの深さ分布の解析から、Cr$$^{0}$$の濃度は注入Cr原子の濃度と共に増加するのに対し、Cr$$^{3+}$$の濃度は注入Cr原子の濃度が高くなると飽和することを見出した。このCr$$^{3+}$$濃度の飽和は、$$alpha$$-アルミナ中では濃度比Cr/Alが0.05以上で、一方酸化マグネシウム中では濃度比Cr/Mgが0.30以上で起り、したがってCr$$^{3+}$$は酸化マグネシウム中でより安定に捕捉されることを示した。Cu$$^{2+}$$の存在は酸化マグネシウム中でのみ検出され、Cu$$^{2+}$$/(Cu$$^{0}$$+Cu$$^{+}$$)の濃度比は注入Cu原子の濃度と共に減少した。

no abstracts in English

使用言語

 :

English

掲載資料名

 :

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B

巻

 :

80-81

号

 :

ページ数

 :

p.1168 - 1170

発行年月

 :

1993/00

発表会議名

 :

8th Int. Conf. on Ion Beam Modification Materials

開催年月

 :

1992/09

開催都市

 :

Germany

開催国

 :

キーワード

 :

XPS; イオン注入; 荷電状態; $$alpha$$-アルミナ; 酸化マグネシウム; Cr; Mg; 深さ分布

特許データ

 :

PDF

 :


論文URL

 :

https://doi.org/10.1016/0168-583X(93)90757-W

研究データの公開先DOI

 :

使用施設

 :

広報プレスリリース

 :

論文解説記事
(成果普及情報誌)

 :

受委託・共同研究相手機関

 :

Access

 :

- Accesses

InCites™

 :

パーセンタイル：43.06

分野：Instruments & Instrumentation

Altmetrics

 :

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