Oba, Hironori; Ogura, Koichi; Shibata, Takemasa
電子銃加熱蒸発源は真空蒸着等多くの分野で利用されている。電子銃加熱時の蒸発面温度分布は蒸発特性を決める上で重要であるが、その報告例はほとんど無い。ここでは銅の電子銃加熱蒸発面を単色フィルタを通してCCDカメラで録画し、温度分布の測定を試みた。その結果、ビームスポットの中心温度は2050Kに達し、るつぼ半径方向に向って急激な温度勾配があり、るつぼ壁面近くでは融点に近くなっていること、ビームスポットが楕円として蒸着速度から求めた推定蒸発面温度は2010Kで測定値とほぼ一致することがわかった。
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使用言語 |
: | Japanese |
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掲載資料名 |
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巻 |
: | 36 |
号 |
: | 3 |
ページ数 |
: | p.203 - 206 |
発行年月 |
: | 1993/00 |
発表会議名 |
: | |
開催年月 |
: | 1992/10 |
開催都市 |
: | 大阪 |
開催国 |
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キーワード |
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論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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Altmetrics |
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