使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 23 |
号 |
: | |
ページ数 |
: | p.381 - 385 |
発行年月 |
: | 1995/00 |
発表会議名 |
: | |
開催年月 |
: | 1993/10 |
開催都市 |
: | Italy |
開催国 |
: | |
キーワード |
: | イオン注入; 表面電子構造; X線光電子分光法; X線励起オージェ電子分光法; X線吸収端微細構造法; SiO; SiN |
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論文解説記事 |
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Access |
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パーセンタイル:53.93 分野:Chemistry, Physical |
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