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In-situ observation of the damage evolution in $$beta$$-SiC crystals during helium and hydrogen dual-ion irradiations

水素・ヘリウムイオン照射による$$beta$$-SiC結晶の損傷過程のその場観察

北條 喜一; 古野 茂実; 櫛田 浩平; 大津 仁; 出井 数彦*

Hojo, Kiichi; Furuno, Shigemi; Kushita, Kohei; not registered; not registered

水素とヘリウムイオンを$$beta$$-SiC結晶に照射し、その構造変化を400kV電顕でその場観察した。その結果、水素、ヘリウムイオン照射とも、$$alpha$$-SiC結晶に比較して非晶質化に必要な損傷量が約半分の0.4dpaであることがわかった。又、バブルの発生・成長は、$$alpha$$-SiC結晶に比較して早く、特に粒界での成長は粒内の成長に比較して数倍早いことを見い出した。この違いは粒界に含まれる焼結補助材の影響と考えられる。

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