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セラミック被覆電線を用いたターボ分子ポンプ用モータの試作

Fabrication and test of an induction motor for the turbomolecular pump using a ceramic-insulated wire

廣木 成治 ; 阿部 哲也 ; 井口 昌司*; 山田 浩一*; 高山 勝*; 村上 義夫

Hiroki, Seiji; Abe, Tetsuya; not registered; not registered; not registered; Murakami, Yoshio

核融合炉環境のように高放射線場において使用可能な真空ポンプを開発するため、セラミック被覆電線を用いたターボ分子ポンプ用モータを試作した。モータのコイル用電線は普通、高速回転の巻線機にかけられるため、その絶縁層には過酷な曲げの力や引張り力が加わっても剥離しないこと、適当な滑りを有すること等の特性が要求される。この特性を満たすため、セラミック被覆電線はセラミックスと有機物の多層構造となっており、巻線後にコイルを焼成し、一体化する。試作したモータの大気中回転試験では、固定子コイルの絶縁に有機物を使用した従来品とほぼ同等の性能が得られた。

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