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Analysis of hydrogen in Nb/Cu multilayers using ion beams

イオンビームを用いたNb/Cu多層膜中の水素分布測定

山本 春也; Goppelt-Langer, P.*; 楢本 洋; 青木 康; 竹下 英文

Yamamoto, Shunya; Goppelt-Langer, P.*; Naramoto, Hiroshi; Aoki, Yasushi; Takeshita, Hidefumi

本研究では、$$^{15}$$N核反応法及び$$^{16}$$Oを用いた反跳粒子検出法を用いて金属多層膜中の水素分布を高い深さ分解能(~100$AA)$で測定を行った。試料は、MBE蒸着法によりMgO、Al$$_{2}$$O$$_{3}$$基板上に成膜したNb及びCu多層膜(100$AA~800AA)$に種々の条件で水素を導入したものを用いた。結果、Cu膜中にはほとんど水素は存在せず、Nb層中に局在し、しかも、水素濃度がNbの膜厚が薄くなるにしたがい減少していくことが明らかになった。また、水素を高濃度及び低濃度に導入した試料においても、同様な傾向があることがわかった。発表では、本分析手法の詳細を加えて報告を行う。

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パーセンタイル:55.18

分野:Chemistry, Physical

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