Spindt型冷陰極電子源からのガス放出の熱処理による低減

Suppression of outgassing from spindt-type cold-cathode by heat treatment

Miyo, Yasuhiko; Ogiwara, Norio; Saido, Masahiro; not registered; not registered

Spindt型冷陰極電子源(素子)は電子放出の際ほとんど発熱しない。これを従来の熱陰極電子源に代わり真空計測に用いた場合、周辺部材からの放出ガスを少なくできる。ところが、素子から電流を引き出す時少量ながら放出ガスが存在することが分かった。超高真空では極力放出ガスを減らす必要がある。そこで放出ガスを減らすため素子に熱処理を施した。試験方法は(1)赤外線加熱炉を用いて特定の温度で素子に熱処理を加える。(2)素子から電流を引き出し四重極質量分析計にて分圧を測定する。電流引き出しによって、H $_{2}$ 、CH $_{4}$ 、H $_{2}$ O、F、CO、CO $_{2}$ が放出されることが分かった。素子に400 $^{circ}$ Cの熱処理を加えることでガス放出がおさえられることが確認できた。但し、熱処理については取扱いによって、寿命に大きな差が出る。以上、本素子を用いて真空計測を行うことが可能であることが確かめられた。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	38
号	:	3
ページ数	:	p.274 - 277
発行年月	:	1995/00
発表会議名	:	第35回真空に関する連合講演会
開催年月	:	1994/10
開催都市	:	大阪
開催国	:
キーワード	:	Spindt型; 冷陰極電子源; 熱処理; 真空計測; 超高真空; 放出ガス

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.38.274
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登録番号 : B19941102
抄録集掲載番号 : 230599
論文投稿番号 : 13201

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