Kamiya, Tomihiro; Suda, Tamotsu*; Tanaka, Ryuichi
PIXE, RBS及びNRAなどを用いた高分解能元素マッピングのために製作された原研軽イオンマイクロビーム装置では、0.25
mのビーム径、100pAの電流のサブミクロンビーム形式のための開発が進められている。最近の2MeVのHeビームを用いた計測で、0.3mのビーム径、11pAのビーム電流のスポットが得られた。計算によれば、10
台の電圧安定度を持つ加速器とエネルギー分解を持つ分析マグネットを用いることにより、目標のビーム性能を達成可能である。そのためには、レンズ系における各種寄生収差の削減と、イオン源からのビーム輝度とエネルギー安定性の向上が必要となる。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
|---|---|---|
掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 118 |
号 |
: | 1-4 |
ページ数 |
: | p.423 - 425 |
発行年月 |
: | 1996/09 |
発表会議名 |
: | |
開催年月 |
: | 1995/05 |
開催都市 |
: | |
開催国 |
: | U. S. A. |
キーワード |
: | 高分子能元素マッピング; 軽イオンマイクロビーム; ビーム径; ビーム電流; サブミクロン; 電圧安定度; エネルギー分解能; 分析マグネット; 収差; イオン源 |
論文URL |
: |
|
|---|---|---|
論文解説記事 |
: |
Access |
: |
- Accesses |
|---|---|---|
InCites™ |
: |
パーセンタイル：80.23 分野：Instruments & Instrumentation |
Altmetrics |
: |
[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.
