Kamiya, Tomihiro; Suda, Tamotsu; Sakai, Takuro; Hamano, Tsuyoshi*
高分解能局所イオンビーム分析を目的とする原研TIARAの軽イオンマイクロビーム装置は、サブミクロンのビームスポット形成を目標としており、現在までに0.3
mのビームサイズを達成している。ビームサイズに下限を与える光学収差のうち色収差を最小限にするため、シングルエンド加速器の電圧安定度と90度分析電磁石によるエネルギー分析系のエネルギー分解能をともに10
とした。またそれぞれを10
とした場合についての測定を行い比較した。より大きなビーム電流を得るために加速器に搭載されたRF型イオン源の最適な運転パラメータのサーチを行っており、現在までに0.4mのビームサイズで77pAのHe 2MeVビームが得られている。今回はビームサイズ及びビーム電流計測結果とそれに対するビーム光学的な評価について述べる。
no abstracts in English
使用言語 |
: | Japanese |
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掲載資料名 |
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巻 |
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号 |
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ページ数 |
: | P. 73 |
発行年月 |
: | 1995/07 |
発表会議名 |
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開催年月 |
: | 1995/07 |
開催都市 |
: | 名古屋 |
開催国 |
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キーワード |
: | 局所イオンビーム分析; 軽イオンマイクロビーム; サブミクロン; 色収差; 電圧安定度; エネルギー分解能; ビーム電流; RFイオン源 |
論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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