静電加速器用小型ECRイオン源の開発

Development of mini ECR ion source for ion implanter

非常に小型で省電力のECR多価イオン源を開発した。プラズマを閉じ込める磁場は永久磁石のみで形成され、10GHz 15Wのマイクロ波は、トランジスターで発生、増幅される。これを静電加速器の高電圧ターミナル上に搭載することにより、その加速エネルギーを増倍することができる。テストベンチを用いた初期テストで多価イオン生成を確認したのでこれを報告する。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	BEAMS 1995: 第6回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム講演論文集
巻	:	0
号	:
ページ数	:	p.15 - 18
発行年月	:	1995/00
発表会議名	:	第6回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム
開催年月	:	1995/11
開催都市	:	東京
開催国	:
キーワード	:	ECR; 多価イオン源; 永久磁石; 静電加速器; 小型

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登録番号 : B19951121
抄録集掲載番号 : 240103
論文投稿番号 : 13674

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