使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
: | 14th Symp. on Materials Science and Engineering, Research Center of Ion Beam Technology, Hosei Univ. |
巻 |
: | 0 |
号 |
: | |
ページ数 |
: | p.147 - 150 |
発行年月 |
: | 1995/00 |
発表会議名 |
: | |
開催年月 |
: | 1995/12 |
開催都市 |
: | 小金井 |
開催国 |
: | |
キーワード |
: | 炭化ケイ素(SiC); イオン注入; 欠陥; 不純物; 電子スピン共鳴(ESR); 光励起発光(PL); シート抵抗 |
論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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Altmetrics |
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