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Accuracy of beam positioning in TIARA

TIARAマイクロビーム装置におけるビーム照準精度

神谷 富裕; 酒井 卓郎; 浜野 毅*; 須田 保*; 平尾 敏雄

Kamiya, Tomihiro; not registered; not registered; Suda, Tamotsu*; Hirao, Toshio

原研高崎のTIARAでは、マイクロビーム形成・照射技術の開発を行っている。ビーム形成では、軽イオンで0.3mm以下、重イオンで1$$mu$$m以下を達成している。マイクロビームの試料への照射は、コンピューター制御の静電型走査方式で行われる。このシステムを評価するため、固体飛後検出器であるCR-39にマイクロビームを照射し、エッチング後の照射痕を顕微鏡で観察し、その精度の評価を行った。また、この照射技術を用いて、CR-39上に文字を描いた結果について報告した。

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