Studies on surface chemical states of some metals and ceramics bombarded with energetic light-ion

軽イオン衝撃した金属およびセラミックスの表面化学状態に関する研究

keVオーダーの軽イオン衝撃した金属およびセラミックスの表面化学状態変化およびその機構を、XPS,AES.SIMSにより解析した。H $^{+2}$ 衝撃したSc,Ti,V,Y,Zr,NbではXPSスペクトルの内殻ケミカルシフトおよび価電子帯領域のMetal-Hピークにより水素化物の形成が認められた。得られた水素化物層は熱化学的に合成した水素化物に比べ、より高温まで安定である。一方、H $^{+2}$ 衝撃したSiC,Si $_{3}$ N $_{4}$ ,SiO $_{2}$ 表面はそれぞれ炭素、ケイ素、ケイ素過剰となる。またH $^{+2}$ ,D $^{+2}$ ,He $^{+e}$ 衝撃によりTiC,TiN,TiO $_{2}$ 表面はチタン過剰となる。重照射下におけるにTiC表面のC/Ti比およびSIMSスペクトルのTi $^{+}$ /C $^{+}$ 比の入射エネルギー依存性は、チタンおよびグラファイトのスバッター収率の比と対応することから組成変化は構成元素のスパッターに帰因することが明らかになった。

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使用言語	:	English
報告書番号	:	JAERI 1304
ページ数	:	76 Pages
発行年月	:	1987/02
特許データ	:
PDF	:	JAERI-1304.pdf:3.1MB
論文URL	:	https://doi.org/10.11484/jaeri-1304
キーワード	:	Surface Chemical State; Light-ion Bombardment; Transition-metal; Ceramics; X-ray Photoelectron Spectroscopy; Plasma-wall Interaction
使用施設	:
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : R001304
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