小原 建治郎; 川崎 幸三; 平塚 一 
; 黒田 猛*; 太田 和也*; 三代 康彦; 大久保 実; 太田 充
Obara, Kenjiro; Kawasaki, Kozo; Hiratsuka, Hajime; not registered; not registered; Miyo, Yasuhiko; Okubo, Minoru; Ota, Mitsuru
1987年2月に完成したJT-60用その場コーティング装置は、JT-60第1壁上の損耗した炭化チタン膜を、その場、即ちJT-60真空容器内で補修することも主目的とする他、チタンフラッシュ機能、及び観察機能をあわせ持つ。装置は、4軸を有するマニプレータを主体に構成され、高温(~300
C)、高真空(~10
Pa)下で運転される。真空中で物体を駆動する例は、半導体製造工程や、宇宙用機器にも見られるが、その場装置のように、高温、高真空下で駆動する例は他では見られない。本報告では、装置の概要について述べるとともに、本装置を使用して実施したチタンフラッシュの結果についても簡単に述べる。
no abstracts in English
使用言語 |
: | Japanese |
|---|---|---|
報告書番号 |
: | JAERI-M 88-117 |
ページ数 |
: | 77 Pages |
発行年月 |
: | 1988/07 |
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論文URL |
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キーワード |
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