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水素負イオンビーム中の不純物測定

Measurement of impurities in a volume produced H-ion beam

奥村 義和; 花田 磨砂也; 小島 啓明; 松田 恭博*; 大原 比呂志

Okumura, Yoshikazu; Hanada, Masaya; Kojima, Hiroaki; not registered; Ohara, Hiroshi

負イオンビーム中に含まれる不純物イオンを、磁場質量分析器と分光器を用いて測定した。体積生成型負イオン源からの水素負イオンビーム中には、O$$^{-}$$、OH$$^{-}$$、O$$_{2-}$$の不純物負イオンがあるが、それらの量は1%以下である。イオン源のプラズマ密度が高くなると、解離が進むためにOH$$^{-}$$イオンは減少し、O$$^{-}$$イオンが増加する。質量分析器をM=200まで掃引したが、金属負イオンは観測されなかった。

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