A New high energy-resolution soft-X-ray spectrometer for a transmission electron microscope

透過型電子顕微鏡用の高エネルギー分解能軟X線分光器の開発

寺内 正己*; 小池 雅人

Terauchi, Masami*; Koike, Masato

特定したナノスケール領域から、物質の価電子帯状態密度分布を測定することを目的とした軟X線分光電子顕微鏡(TEM-XES装置)の開発を行っている。今回、回折格子から検出器までの距離がこれまでの約2倍(エネルギー分散が2倍)となる新たな不等間隔溝ラミナー型ホログラフィック回折格子をデザインし製作した。このことにより、1000eVで0.7eVのエネルギー分解能が期待できる。

We have been developing a high energy-resolution soft-X-ray spectrometer for a transmission electron microscope to obtain the information of the density of states (DOS) of the valence band (occupied states) from identified small specimen areas. We have designed and produced a new grating. The new varied-line-spacing laminar-type holographic grating was designed to have a focal distance of about 50 cm. An energy resolution of about 0.7 eV is expected for X-ray energy of about 1000 eV.