リアルタイム光電子分光によるTi(0001)表面酸化反応の「その場」観察

In-situ observation of oxidation of Ti(0001) surface by real-time photoelectron spectroscopy using synchrotron radiation

高桑雄二*; 石塚眞治*; 吉越章隆 ; 寺岡有殿; 水野善之*; 頓田英樹*; 本間禎一*

Takakuwa, Yuji*; Ishizuka, Shinji*; Yoshigoe, Akitaka; Teraoka, Yuden; Mizuno, Yoshiyuki*; Tonda, Hideki*; Homma, Teiichi*

Ti(0001)表面の酸素分子による初期酸化過程の温度依存性を低エネルギー電子回折(LEED)とリアルタイム光電子分光で解析した。LEEDから酸化膜がエピタキシャル成長することが明らかとなった。酸素の光電子分光から酸素の拡散が温度によって促進され、400 $^{circ}$ Cで7nmにもなることが明らかになった。Tiの光電子分光から表面近傍ではTiO $_{2}$ が主であるが界面ではTiOやTi $_{2}$ O $_{3}$ も存在することが明らかになった。

Temperature dependence of the initial oxidation kinetics of Ti(0001) surface was investigated by low energy electron diffraction (LEED) and real-time photoelectron spectroscopy. The LEED observation revealed that the oxide layers grew epitaxially. From the oxygen uptake curve, it was clarified that oxigen diffusion was significantly enhanced by surface temperature and the oxide layers thickness reached to 7 nm at 400 $^{circ}$ C. From Ti-2p photoelectron spectroscopy, TiO $_{2}$ was predominant at the subsurface while TiO and Ti $_{2}$ O $_{3}$ components were also observed at the interface.

使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	表面科学
巻	:	24
号	:	8
ページ数	:	p.500 - 508
発行年月	:	2003/08
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	Ti(0001); Oxygen; Oxidation; TiO $_{2}$ ; TiO; Ti $_{2}$ O $_{3}$ ; LEED; Photoelectron Spectroscopy; O 1s; Ti 2p

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1380/jsssj.24.500
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:	SPring-8(大型放射光施設)
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登録番号 : A20030303
抄録集掲載番号 : 320126
論文投稿番号 : 20660

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