Formation of nano-sized pinholes array in thin Ni film on MgO(100) substrate

MgO(100)基板上に形成したNi薄膜中におけるナノサイズピンホールの配列状態

Lin, C.; Naramoto, Hiroshi; Xu, Y.; Kitazawa, Shinichi; Narumi, Kazumasa; Sakai, Seiji

Ni単結晶薄膜を、厚さの関数として、MgO(100)基板上に形成し、その微視的な形態の変化を原子間力顕微鏡により、評価した。膜厚が1-15nmの場合には、5-10nm径のピンホールが観測され、特に10nmの膜では、ピンホールが自発的に規則配列することを見いだした。これらの一連の観察結果は、表面弾性エネルギーを考慮することにより、系統的に解釈できることを示した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Thin Solid Films
巻	:	443
号	:	1-2
ページ数	:	p.28 - 32
発行年月	:	2003/10
発表会議名	:
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キーワード	:	Ni; Film; Pin-hole; Morphlogy; Surface Energy; AFM Observation

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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/S0040-6090(03)00527-3
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：8.55 分野：Materials Science, Multidisciplinary
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登録番号 : A20030458
抄録集掲載番号 : 320547
論文投稿番号 : 20995

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