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Formation of nano-sized pinholes array in thin Ni film on MgO(100) substrate

MgO(100)基板上に形成したNi薄膜中におけるナノサイズピンホールの配列状態

Lin, C.; 楢本 洋; Xu, Y.; 北澤 真一; 鳴海 一雅; 境 誠司

Lin, C.; Naramoto, Hiroshi; Xu, Y.; Kitazawa, Shinichi; Narumi, Kazumasa; Sakai, Seiji

Ni単結晶薄膜を、厚さの関数として、MgO(100)基板上に形成し、その微視的な形態の変化を原子間力顕微鏡により、評価した。膜厚が1-15nmの場合には、5-10nm径のピンホールが観測され、特に10nmの膜では、ピンホールが自発的に規則配列することを見いだした。これらの一連の観察結果は、表面弾性エネルギーを考慮することにより、系統的に解釈できることを示した。

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パーセンタイル:8.77

分野:Materials Science, Multidisciplinary

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