高圧下における窒化ガリウムの一致溶融; 融液徐冷法による単結晶の合成

Congruent melting of GaN under high pressures and its appliation to single crystal growth

Utsumi, Wataru; Saito, Hiroyuki; Aoki, Katsutoshi; Kaneko, Hiroshi*; Kiriyama, Koji*

窒化ガリウムは、青色発光デバイスの中心をなす物質であり、エピタキシャル成長基板として用いられるような大型単結晶が切望されている。われわれはスプリングエイト設置のマルチアンビル型高温高圧発生装置を用いて、高温高圧下における窒化ガリウムの分解並びに融解の様子をX線その場観察した。その結果、6GPa以上の圧力下では、2200 $^{circ}$ Cで窒化ガリウムは一致溶融し、温度を下げることによって、可逆的に結晶化することを見いだした。この結果は、高圧下で窒化ガリウム融液を徐冷することによる新しい窒化ガリウム単結晶育成法につながるものである。この手法により100ミクロンサイズの単結晶がえられ、そのX線ロッキングカーブは30秒以下と極めて良質の結晶であることを示唆するものであった。

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発表言語	:	Japanese
掲載資料名	:	日本結晶学会誌
巻	:	46
号	:	4
ページ数	:	p.297 - 303
発行年月	:	2004/07
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	窒化ガリウム; 単結晶; 放射光; X線回折; 高温; 高圧

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.5940/jcrsj.46.297
研究データの公開先DOI	:	本成果にかかわる研究データのリンクです。
使用施設	:	SPring-8(大型放射光施設)
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登録番号 : A20040106
抄録集掲載番号 : 320865
論文投稿番号 : 21279

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