films by RBS/C膜の構造評価Yamamoto, Shunya; Takeyama, Akinori; Yoshikawa, Masahito
硫黄を添加した二酸化チタン(S-TiO)の粉末試料では、可視光領域の光吸収の発現など光学的特性が変化し、光触媒性の向上が見いだされている。そこで本研究では、S-TiO粉末を原料とした薄膜の作製を目指し、パルスレーザー蒸着法を用いて多結晶及び単結晶構造のS-TiO膜の作製を試みた。作製した膜について、X線回折,ラザフォード後方散乱法などを用いて構造評価を行った。その結果、硫黄の添加量を数at.%の濃度で制御し、シリコン基板上にアナターゼ型の多結晶TiO膜,サファイア(0001)単結晶基板上にルチル型のTiO(100)単結晶膜を作製することができた。本研究よりTiO膜中の硫黄濃度を制御する主なパラメータは、ターゲットの組成,成膜中の雰囲気,基板温度であることが明らかになった。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
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巻 |
: | 242 |
号 |
: | 1-2 |
ページ数 |
: | p.377 - 379 |
発行年月 |
: | 2006/01 |
発表会議名 |
: | 14th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM 2004) |
開催年月 |
: | 2004/09 |
開催都市 |
: | Monterey |
開催国 |
: | U. S. A. |
キーワード |
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論文URL |
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使用施設 |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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InCites™ |
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パーセンタイル：53.56 分野：Instruments & Instrumentation |
Altmetrics |
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