Single pulse nm-size grating formation in polymers using laser ablation with an irradiation wavelength of 355nm

レーザーアブレーション(波長355nm)を用いた高分子固体表面におけるナノメートルサイズ回折格子の作製

Lippert, T.*; Gerber, T.*; Wokaun, A.*; Funk, D. J.*; 福村裕史; 後藤真宏

Lippert, T.*; Gerber, T.*; Wokaun, A.*; Funk, D. J.*; Fukumura, H.; Goto, Masahiro

回折格子は光電子デバイスや液晶の配向等その応用性は注目されている。その作成法はおもに2つある。1つは機械的な手法、もう1つは光学的に作製する方法である。前者は高い精度で均一な格子を作製することが困難である。われわれは、マイケルソン干渉法と光分解ポリマーを組み合わせることにより、180nmと1090nmの回折格子を作ることに成功した。表面形状は原子間力顕微鏡を用いて測定した。さらに、レーザー照射回数、照射強度の違いによる回折格子形状変化を解析し、最適なナノメートルサイズ回折格子作製条件を見いだした。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Applied Physics Letters
巻	:	75
号	:	7
ページ数	:	p.1018 - 1020
発行年月	:	1999/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	Polymer; Laser Ablation; Grating; Michelson Inter Ferometer; Atomic Force Microscopy

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論文URL	:	https://doi.org/10.1063/1.124584
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InCites™	:	パーセンタイル：81.37 分野：Physics, Applied
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登録番号 : A19990374
抄録集掲載番号 : 271258
論文投稿番号 : 16993

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