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Single pulse nm-size grating formation in polymers using laser ablation with an irradiation wavelength of 355nm

レーザーアブレーション(波長355nm)を用いた高分子固体表面におけるナノメートルサイズ回折格子の作製

Lippert, T.*; Gerber, T.*; Wokaun, A.*; Funk, D. J.*; 福村 裕史; 後藤 真宏

Lippert, T.*; Gerber, T.*; Wokaun, A.*; Funk, D. J.*; Fukumura, H.; Goto, Masahiro

回折格子は光電子デバイスや液晶の配向等その応用性は注目されている。その作成法はおもに2つある。1つは機械的な手法、もう1つは光学的に作製する方法である。前者は高い精度で均一な格子を作製することが困難である。われわれは、マイケルソン干渉法と光分解ポリマーを組み合わせることにより、180nmと1090nmの回折格子を作ることに成功した。表面形状は原子間力顕微鏡を用いて測定した。さらに、レーザー照射回数、照射強度の違いによる回折格子形状変化を解析し、最適なナノメートルサイズ回折格子作製条件を見いだした。

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パーセンタイル:17.7

分野:Physics, Applied

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