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濃縮分離-ガスクロマトグラフ法による高純度ヘリウム中の微量不純物の定量

Gas Chromatographic Determination of Impurities in Helium

青柳 寿夫; 高橋 正雄

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濃縮分離・ガスクロマトグラフ法による、高純度ヘリウム中の微量不純物の定量法を検討した。本法の特色は不純物の濃縮分離およびおもな展開を同一のトラップで行う点である。すなわちヘリウム中の微量不純物(H$$_{2}$$、Ar、O$$_{2}$$、N$$_{2}$$、CH$$_{4}$$、CO、CO$$_{2}$$)を液体窒素で冷却したモレキュラシーブ5Aのトラップに捕集濃縮する。のちトラップの温度を約ー190$$^{circ}$$Cから300$$^{circ}$$Cまで上げ、不純物を順次展開する。これを活性炭カラムを付けたガスクロマトグラフに送り、得られたガスクロマトグラムより、各種不純物量を求める。このようにして得られた上記不純物の検出下限は、ヘリウム試料を5?採取した場合、水素以外の不純物について0.1~0.5vpm、水素については約2vpmである。

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