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Observations of crystal structure images of silicon

超高分解能ポールピースを用いて観察されたシリコンの格子構造、像

出井 数彦; 古野 茂実; 大津 仁

Izui, Kazuhiko; not registered; not registered

球面収差係数が0.7mmの高分解能専用のポールピースを装着した電子顕微鏡を用いて、シリコン単結晶薄膜を高倍率($$times$$1,000,000)で観察し、ダイヤモンド型格子構造の原子配列の(111)、(110)、(100)面への投影の原子位置と1対1に対応する二次元多波格子像を撮影することが出来たので、その結果について報告する。 従来この種の格子像で得られている最高の分解能は金の(100)投影で原子位置間隔~2$AA$であるが、今回吾々の結果では(110)投影で~1.4$AA$という最高分解能点間隔がえられた。

no abstracts in English

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