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核融合装置の第一壁材料のスパッタリング実験

Sputtering yield measurement on first wall materials of thermonuclear fusion device

曽根 和穂; 大塚 英男; 阿部 哲也; 山田 礼司; 小原 建治郎; 成沢 忠*; 塚越 修*; 佐竹 徹*; 小宮 宗治*

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室温におけるモリブデンのスパッタリング収率をオージェ電子分光法を用いて測定した。イオンビームは0.1~6keVのプロトンである。この方法は10$$^{-}$$$$^{4}$$atoms/ion程度の微小なスパッタリング収率を測定するには有力な方法である。また熱分解黒鉛のスパッタリング収率を測定するには有力な方法である。また熱分解黒鉛のスパッタリング収率を上記エネルギー範囲のプロトンについて、物理的スパッタリング収率と化学的スパッタリング収率を分けて測定することに成功した。また本論文は昨年11月26日学振141委員会の研究会および、11月27日真空に関する連合講演会において講演した内容をまとめたものである。

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