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Crystal structure images of silicon at some elevated voltages

超高圧電顕によるシリコン結晶の格子像

西田 雄彦; 出井 数彦; 古野 茂実; 大津 仁; 桑原 茂也*

not registered; Izui, Kazuhiko; not registered; not registered; not registered

近年、結晶格子の電顕による直接観察がいくつか報告されているが、我々のグループでも昨年シリコン結晶の高分解能の格子像の撮影に成功した。この報告では、マルチスライス近似によって、$$<$$110$$>$$方向入射の場合の高分解能シリコン格子像を得る最適条件を検討する。サーベイ計算は結晶の厚さ、対物レンズの絞り、焦点外れについて行われ、観察像(100KV)と比較された。更により高いエネルギー(500,1000KV)の場合の最適な観察条件について議論する。

no abstracts in English

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