シリコン結晶の原子像

Images of atoms in a silicon crystal

超高分解能電顕によるシリコン結晶の原子像を観察した仕事を解説する。観察のための実験条件、観察上の注意について述べ、またn-slice理論に基づいた、原子の像の計算方法と計算結果について説明し、理想的な結晶原子像を観察するための電子光学的条件を検討した。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	金属物理セミナー
巻	:	2
号	:	5-6
ページ数	:	p.305 - 311
発行年月	:	1977/06
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キーワード	:	シリコン結晶; 原子像

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登録番号 : A19777322
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 4913

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