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Depth distribution of argon implanted into lithium oxide

酸化リチウムペレットに注入したアルゴン原子の濃度分布

那須 昭一; 塩沢 憲一; 谷藤 隆昭; 野田 健治; 内田 勝也*

not registered; not registered; Tanifuji, Takaaki; not registered; not registered

酸化リチウム・ペレットに、450および300keV,4.4$$times$$10$$^{1}$$$$^{7}$$fluencesまで注入したアルゴン原子の濃度分布状態を、1.5MeVの陽子の後方散乱法で調べ次の結果を得た。(1)後方散乱法で求めた酸化リチウム中のアルゴン原子のfluenceは、注入したはずのそれの約1/5であった。これは注入中の発熱により、一部拡散したものと思われる。(2)最高濃度における注入深さは、450および300keVの注入エネルギーに対して、それぞれ0.382および0.289$$mu$$mであった。

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