阿部 哲也 
; 小原 建治郎; 中村 博雄; 曽根 和穂; 大塚 英男; 山田 禮司; 西堂 雅博; 清水 正亜
not registered; not registered; Nakamura, H.; not registered; not registered; not registered; not registered; not registered
アルゴン直流グロー放電中で、モリブデン蜂の巣構造壁のスパッタリング収率を平板のそれと比較した。入射粒子の平均エネルギおよび入射角度がそれぞれ約1keVならびに、ほぼ垂直という実験条件の下で、蜂の巣構造壁のスパッタリング収率は平板のそれに比較して約1/20~1/30に減少した。走査型電子顕微鏡で、照射前後の蜂の巣構造壁の表面形状変化も合わせて観察した。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
|---|---|---|
掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 15 |
号 |
: | 7 |
ページ数 |
: | p.471 - 475 |
発行年月 |
: | 1978/07 |
キーワード |
: | Sputlerin Yield; Molyhdenum; Honeycomb structures; Argon Ion; 1keV; Normal Incidence; Glow Discharge |
論文URL |
: |
|
|---|---|---|
論文解説記事 |
: |
Access |
: |
- Accesses |
|---|---|---|
Altmetrics |
: |
[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.
