Measurement of the sputtering yield by auger electron spectroscopy

オージェ電子分光法を用いたスパッタリング収率の測定

大塚 英男; 山田 礼司; 曽根 和穂; 西堂 雅博; 阿部 哲也 

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オージェ分光法によってスパッタ収率を求める時の問題点について調べた。従来のこの方法では、被測定物質の、基板上で層状に付着する事が肝要であると思われていた。しかしそれに制限されてしまうと、この方法の応用がきわめて限られる事になる。本実験では、層状付着が保証されない組合せでも、この測定法が有効である事が示された。これによって基板の選択が広まり、他の必須条件、たとえばオージェスペクトルの重なり、不純物付着の難易度などで有利なものを用いる事ができる。本実験は、水素によるモリブデンのスパッタ収率を求めながら進められたが、他の報告と最大、ファクター2の差をのこしながらもエネルギー依存性はよい一致を示す結果が得られた。これにより、この測定法の可能性が示された。

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