ionsイオンによりスパッターされたモリブデン粒子の放出角度分布におよぼす表面微細構造効果not registered; not registered; not registered
スパッターされたモリブデン原子の放出角度分布を測定した。表面微細構造が角度分布におよぼす影響を知る目的で、焼鈍した試料と非焼鈍試料を用いてNeイオン(0.6keV及び1.5keV)を照射した。焼鈍材の粒の大きさは~50
mで、非焼鈍材のそれは~5mであった。またイオン入射角は、試料の法線方向から測定して0°及び45°である。45°入射の場合、入射エネルギーが低い程及び粒の大きさが小さい程放出角度は前方放出となった。1.5keVの垂直入射の場合、角度分布は余弦法則に従った。照射による表面の形状変化及び放出角度分布が、試料の粒の大きさにどのように依存するのかを、計算により評価し定性的に説明した。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
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巻 |
: | 84 |
号 |
: | 1&2 |
ページ数 |
: | p.101 - 108 |
発行年月 |
: | 1979/00 |
キーワード |
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論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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Altmetrics |
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