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High resolution structure images and their application to defect studies

高分解能結晶構造像とその格子欠陥研究への応用

出井 数彦; 古野 茂実; 西田 雄彦; 大津 仁

Izui, Kazuhiko; not registered; not registered; not registered

100kV電顕を用いて、従来の理論分解能を遥かに超えた高分解能の結晶構造をシリコン,ゲルマニウム,モリブデナイトにおいて観察した結果を報告し、あわせて、観察のための最適条件を結像計算に基づいて明らかにした点を述べる。更にこの手法を格子欠陥の研究に応用して、種々の荷電粒子で照射された結晶中に出来る微小欠陥の高分解能観察結果を報告し、これら観察像を解析するために、欠陥の種々のモデル(空孔型,或は格子間原子型集合体)について、multi-slice理論とレンズ伝達理論に基く、像のコンピューターシミュレーションの結果を述べ、像解釈上の種々の問題点を議論する。

no abstracts in English

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