Continuous observation of surface erosion of polycrystalline molybdenum implanted with helium ions with different energies

多結晶モリブデンの表面侵食におよぼす複数エネルギーヘリウムの重ね合わせ照射効果

西堂 雅博; 曽根 和穂; 山田 礼司; 中村 和幸 

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イオン照射下において、表面の連続観察をおこなえる電子顕微鏡を用いて、種々の照射条件でヘリウムイオン衝撃されたモリブデンの表面侵食の形態を観察した。 表面侵食の形態は、照射条件、試料の熱処理温度に強く依存する。特に、モリブデンが再結晶化を開始する温度まで加熱すると、ヘリウム照射によって剥離が顕著になる。一方、表面から比較的一様に分布するようにヘリウムが打ち込まれた場合には、剥離は発生せず、ブリスターが生成される。表面侵食において重要な臨界照射量が精度良く求まり、表面侵食の発生するヘリウム濃度は、従来予想されていた値より低くなることを示した。

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