Measurement of chemical sputtering yields of various types of carbon

種々の炭素材料の化学スパッタリング収率測定

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熱分解黒鉛、等方性黒鉛、ガラス状黒鉛の化学スパッタリングを、温度範囲が室温から700 $^{circ}$ Cの間で、入射水素イオンエネルギー範囲が0.1から6keVの間で測定した。化学スパッタリング収率は、入射エネルギーが1keV、試料温度が525 $^{circ}$ Cの時に最大値をとり、その値は0.070.01atoms/ionであった。試料依存性に関しては、化学スパッタリング収率の試料依存性は小さかった。メタニ生成率の照射依存性は、照射前の試料中の水素濃度に強く依存するが、110 $^{1}$ $^{8}$ H $^{+}$ /cm $^{2}$ 以上の水素イオン衝撃を行うとメタン生成率は定常値に達した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Journal of Nuclear Materials
巻	:	95
号	:	3
ページ数	:	p.278 - 284
発行年月	:	1980/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	Chemical; Sputtering; Methane; Carbon

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/0022-3115(80)90369-4
研究データの公開先DOI	:
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広報プレスリリース	:
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：98.26 分野：Materials Science, Multidisciplinary
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登録番号 : A19800014
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 5858

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