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Chemical vapor deposition of ZrC within a spouted bed by bromide process

噴流層中でのZrC化学蒸着におけるメタン熱分解の重要性

小川 徹; 井川 勝市; 岩本 多實

not registered; Ikawa, Katsuichi; Iwamoto, K.

種々の核燃料粒子に、1350°~1600$$^{circ}$$CでZrC被覆をほどこした。供給ガス組成はZrBr$$_{4}$$,CH$$_{4}$$H$$_{2}$$,Arであった。結果は、Zr-C-H-Br系の熱化学解析と比較された。メタン流量に、メタン熱分解効率の補正を行う事によって、ZrC蒸着物の重量と組成を供給ガス組成から熱化学的に計算できることが示された。メタン熱分解の活性中心概念と、表面のごく近傍での局所化学平衡とに基づいて、ZrC蒸着モデルを構成し、実験結果を定性的に説明した。

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分野:Materials Science, Multidisciplinary

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