ポリイミド樹脂を応用した超高真空用ゲートバルブの製作と真空特性

Development of ultra high vacuum gate valves with polyimide resin plate seel and measurement of their performance.

ポリイミド樹脂は、一般に電気絶縁材料として広く利用され、商業ベースに乗ったプラスチックの中でも最も耐熱性に優れている材料に分類できる。現在の核融合真空装置では、超高真空に対する基礎的部品等がまだ開発途上にある。この中でもメタルシールの欠点を補うことのできる真空シール材の必要性が問われている。本論文では、ポリイミド樹脂の高温下における優れた特性を超高真空部品に応用し、実験を行った結果を報告する。実験は、真空特性として重要である気体の透過率、放出ガス率の測定および、高耐熱型ゲートバルブの製作と性能実験と電気絶縁を兼ねた真空シールガスケットの開発を行った。ポリイミド樹脂は、250~300 $^{circ}$ Cの加熱条件においても、真空的に優れた性質を示し、種々の応用が実現できることが確認できた。

no abstracts in English

使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	24
号	:	7
ページ数	:	p.399 - 407
発行年月	:	1981/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	ポリイミド; 超高真空; ガスケット; ゲートバルブ; 透過率; 放出ガス率

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.24.399
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
Web of Science® Times Cited Count	:	被引用回数：評価・統計等のため最新の被引用回数を確認したい場合は、直接Web of Science®をご確認ください。 http://www.webofknowledge.com/wos
InCites™	:
Altmetrics	:

登録番号 : A19811053
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 6048

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.