Carbon deposition apparatus to produce long-lived stripper foils for the JAERI 20MV tandem accelerator

原研20MVタンデム加速器用長寿命ストリッパーフォイルを生産するためのカーボン蒸着装置

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原研20MVタンデム加速器の高電圧端子内で使用される荷電変換炭素薄膜を大量に生産するための炭素蒸着装置を開発した。この装置は、すでに原研で開発した長寿命炭素薄膜の製造方法をもとに、原研タンデムに十分供給できるように多くのガラス基板に炭素薄膜を蒸着できるように設計・製作された。設計・製作における要点および試作テスト結果、実際にイオン・ビームを用いて荷電変換膜として使用した結果について報告される。

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発表言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods
巻	:	197
号	:
ページ数	:	p.267 - 272
発行年月	:	1982/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
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キーワード	:	Carbon Deposition Apparatus; Long-lived Stripper Foils; JAERI 20MV Tandem Accelerator; 25Glass Substrates

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登録番号 : A19811271
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 6413

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