Cross-Section法を用いた透過電子顕微鏡用試料の作製

Preparation of TEM specimen by cross-section technique

中性子照射による金属材料の損傷の模擬試験としてイオン照射が広く行われているが、イオン照射で生じる損傷は試料内で一様ではなく、入射イオンの平均飛程近傍に集中する。イオン照射実験の結果をより正確に評価するためには、この損傷の深さ分布を直接的に知ることが重要である。このために、イオン照射した試料を入射ビームに対して垂直な方向から電子顕微鏡を用いて観察するCross-section法(Niメッキ法)が試みられている。しかしながら、従来のCross-section法では、ステンレス鋼において照射したままの状態を観察することができなかった。本報告では、メッキ条件の検討及び最適化を行い、照射したままの状態を観察できる電子顕微鏡用試料を作製する技術を開発したので、その方法について述べる。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	日本原子力学会誌
巻	:	28
号	:	12
ページ数	:	p.1165 - 1171
発行年月	:	1986/12
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	イオン照射; 損傷; 深さ分布; 電子顕微鏡; Cross-section法; Niメッキ法; ステンレス鋼; 平均飛程

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.3327/jaesj.28.1165
研究データの公開先DOI	:
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広報プレスリリース	:
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：32.46 分野：Nuclear Science & Technology
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登録番号 : A19855138
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 7956

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