検索対象:     
報告書番号:
※ 半角英数字
 年 ~ 
 年

Rate of production of water vapour in low-power,high-repetition-rate discharge cleaning

低いパワーで、繰り返しの早い放電洗浄における水の生成割合

松崎 誼; 鈴木 紀男; 平山 俊雄

not registered; not registered; not registered

低いパワーで繰り返しの早い放電洗浄(テーラ型放電洗浄:TDC)において、ガス圧Pf,プラズマ電流Ip,繰り返し周期I/Tに対する水P$$_{H}$$$$_{2}$$$$_{O}$$の生成割合について実験した。P$$_{H}$$$$_{2}$$$$_{O}$$はPfの増大に伴い増えるが増え方はP$$_{H}$$$$_{2}$$$$_{O}$$$$alpha$$Pf$$^{0}$$$$^{.}$$$$^{6}$$で指数は1とならない。これはガス圧の上昇に伴い、電子温度Teが低下、H$$_{2}$$の解離が減少する為である。Ipについては5kA$$<$$Ip$$<$$10kAが最適であり、これはTe=5~10eVになる。Teがこれ以上になると生成されたH$$_{2}$$Oの解離が進むのでP$$_{H}$$$$_{2}$$$$_{O}$$は減少する。I/TについてはI/Tが増大すればP$$_{H}$$$$_{2}$$$$_{O}$$も増大する。更にP$$_{H}$$$$_{2}$$$$_{O}$$の時間変化については、P$$_{H}$$$$_{2}$$$$_{O}$$はTDCを開始すると直ちに、ベース圧より20倍程度増大し、その後徐々に減少する。それはP$$_{H}$$$$_{2}$$$$_{O}$$$$alpha$$t$$^{-}$$$$^{0}$$$$^{.}$$$$^{9}$$となる。以上の実験事実を水の粒子バランス方程式を使用して、論議・考察した。

no abstracts in English

Access

:

- Accesses

InCites™

:

パーセンタイル:54.42

分野:Physics, Applied

Altmetrics

:

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.