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Chemical vapor deposition of silicon carbide for coated fuel particles

被覆燃料粒子SiC層の化学蒸着

湊 和生 ; 福田 幸朔

Minato, Kazuo; not registered

被覆燃料粒子にSiCを化学蒸着させる実験を、流動床を用いて行なった。原料および流動ガスとして、メチルトリクロロシラン、水素、およびアルゴンを用いた。種々の条件において蒸着を行ない、蒸着物をX線回折法により調べた。蒸着物生成は、蒸着条件により、$$beta$$-SiC、$$beta$$-Sic+Si、または$$beta$$-SiC+Cであった。また、化学蒸着の機構を理解するために、熱力学解析を行なった。ここでの実験条件では、熱力学的に平衡な蒸着物組成は、$$beta$$-SiCまたは$$beta$$-SiC+Cであった。これらの実験および解析の結果から、SiCの化学蒸着の機構に関するモデルを提案した。

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分野:Materials Science, Multidisciplinary

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