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Estimation of C$$_{2}$$ and C$$_{3}$$ hydrocarbon production yields of graphite due to hydrogen ion bombardment

水素イオン衝撃による黒鉛のC$$_{2}$$,C$$_{3}$$炭化水素生成収率の評価

山田 禮司*

not registered

黒鉛に水素イオンを衝撃するとC$$_{2}$$およびC$$_{3}$$炭化水素が生成することが、最近筆者により見い出されている。C$$_{2}$$炭化水素はC$$_{2}$$H$$_{2}$$,C$$_{2}$$H$$_{4}$$,C$$_{2}$$H$$_{6}$$より、C$$_{3}$$炭化水素はC$$_{3}$$H$$_{4}$$、C$$_{3}$$H$$_{6}$$,C$$_{3}$$H$$_{8}$$より成り、各々の収率を直接、四重極質量分析計(QMS)で測定することは出来ない。ここでは、QMSで測定した信号強度より、各炭化水素の収率を数値解で求める方法を提案している。この方法によれば、各炭化水素のクラッキング係数と相対感度を標準ガスを用いて求めれば、QMSの実測値から各収率が求められる。

no abstracts in English

使用言語

 :

English

掲載資料名

 :

J.Vac.Sci.Technol.,A

巻

 :

5

号

 :

3

ページ数

 :

p.305 - 307

発行年月

 :

1987/03

発表会議名

 :

開催年月

 :

開催都市

 :

開催国

 :

キーワード

 :

Chemical; Sputtering; Hydrocarbon; QMS; Hydorogen; Ion; Graphite; Calibration

特許データ

 :

PDF

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論文URL

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広報プレスリリース

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