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XPS and TDS studies of trapping states of helium implanted in TiO$$_{2}$$

XPS及びTDSによるTiO$$_{2}$$に注入したヘリウムの捕捉状態に関する研究

馬場 祐治  ; 佐々木 貞吉

not registered; not registered

TiO$$_{2}$$にイオン注入したヘリウムの捕捉状態をXPS及び昇温脱離スペクトル(TDS)により調べた。TiO$$_{2}$$表面は、1.5~11keVのHe$$^{+}$$照射によりTi$$^{2}$$$$^{+}$$及びTi$$^{3}$$$$^{+}$$に還元される。ヘリウムのTDSスペクトルには、460$$^{circ}$$C(P$$_{1}$$)、590$$^{circ}$$C(P$$_{2}$$)700$$^{circ}$$C(P$$_{3}$$)にピークが認められる。ピーク強度のエネルギー依存性、照射量依存性及び加熱に伴うXPSスペクトル変化により、P$$_{1}$$及びP$$_{2}$$はそれぞれ、格子間及び酸素原子の欠陥にトラップされたヘリウムに対応すると考えられる。一方、P$$_{3}$$は真空中におけるTiO$$_{2}$$の分解に伴い放出されるヘリウムに対応する。また、P$$_{1}$$及びP$$_{2}$$に対応するヘリウムの捕捉に伴う活性化エネルギーは、それぞれ0.56eV、1.68eVと見積もられた。

no abstracts in English

使用言語

 :

English

掲載資料名

 :

Journal of Nuclear Materials

巻

 :

152

号

 :

ページ数

 :

p.295 - 300

発行年月

 :

1988/00

発表会議名

 :

開催年月

 :

開催都市

 :

開催国

 :

キーワード

 :

X-ray Photoelectron Spectroscopy; Thermal Desorption Spectrometry; He$$^{+}$$-ion Bombardment; TiO$$_{2}$$; Activation Energy; Trapping State

特許データ

 :

PDF

 :


論文URL

 :

https://doi.org/10.1016/0022-3115(88)90340-6

研究データの公開先DOI

 :

使用施設

 :

広報プレスリリース

 :

論文解説記事
(成果普及情報誌)

 :

受委託・共同研究相手機関

 :

Access

 :

- Accesses

InCites™

 :

パーセンタイル：46.81

分野：Materials Science, Multidisciplinary

Altmetrics

 :

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