Oxygen coverage dependent emission of sputtered neutrals and secondary ions

スパッタ原子および二次イオン放出におよぼす酸素の影響

H.Gnaser*; 西堂雅博; J.von.Seggern*; W.O.Hofer*

H.Gnaser*; not registered; J.von.Seggern*; W.O.Hofer*

代表的な表面分析装置の1つである二次イオン質量分析装置を改造した二次イオン質量分析/スパッタ原子質量分析装置(SIMS/SNMS装置)の特性評価を行う目的で、モリブデンおよびインジウム金属からスパッタ放出されるスパッタ原子および二次イオンの酸素雰囲気下における放出挙動について調べた。得られた実験結果は以下の事柄を支持している。 SIMS測定は定量性には欠けるが、感度が良い。一方SNMS測定は、その感度はSIMS測定より1~2桁低いが、定量性が良い。従って、両方の利点を生かした表面分析装置であるSIMS/SNMS装置は、感度の良い、しかも定量性のある測定が可能である。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
巻	:	15
号	:
ページ数	:	p.169 - 172
発行年月	:	1986/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	SIMS/SNMS; Sputtering; Sputterd Neutral; Secondary Ion; Oxygen Exposure

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/0168-583X(86)90276-4
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：83.33 分野：Instruments & Instrumentation
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登録番号 : B19855601
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 7646

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