真空ポンプ用セラミックロータの試作

Performance test of a ceramic rotor for vacuum pump

Abe, Tetsuya; Murakami, Yoshio; Takazawa, Kunio*; Morii, Shigeki*

耐磁場・耐放射線性等を有する回転真空ポンプの開発を目的として、回転体をセラミックス(Si $_{3}$ N $_{4}$ )製、軸受をガスベアリング、シールを非接触ネジシール、回転駆動源をガスタービンとした試験機を試作し各種性能試験を行った。その結果、耐磁場性に関しては回転数30,000r.p.m.の状態で、正常磁場0.046T(テスラ)(磁場発生装置の最大値)・1時間印加、同様にパルス磁場0.02T(msec) $^{-}$ $^{1}$ ,10分間(60パルス)印加しても回転数の低下、回転体の温度上昇は認められなかった。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	30
号	:	5
ページ数	:	p.221 - 225
発行年月	:	1987/05
発表会議名	:	日本真空協会
開催年月	:	1986/11
開催都市	:	大阪
開催国	:
キーワード	:	Performance Test; Ceramic Rotor; Si $_{3}$ N $_{4}$ ; TMP; Vacuum Pump

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.30.221
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広報プレスリリース	:
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : B19866555
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 8175

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