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形状記憶合金アクチュエータを用いた全金属製真空バルブ

All metal valve using shape memory alloy actuator

阿部 哲也 ; 武田 隆治; 村上 義夫; 伊藤 一男*; 鴨志田 利*

Abe, Tetsuya; Takeda, Ryuji; Murakami, Yoshio; Ito, Ichio*; Kamoshida, Toshi*

形状記憶合金線(NiiTi,Af109$$^{circ}$$C)をアクチュエータ動力として全金属製真空バルブを試作し、その動作特性を評価した。線径1mm$$phi$$$$times$$8本の形状記憶合金線(SMA線)を用いてアクチュエータを構成し、繰り返し動作試験を約6,000回行った。その結果、単純なストップバルブとして使用する限り、動作距離の再現性は問題にならないが、再現性(動作距離の)を問題にするような場合は事前に100回以上の準備運動をする必要がある。 以上の結果をもとに実用的なSMA真空バルブを製作した。

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