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In-situ observation system of the dynamic process of structual changes during ion irradiation and its application to SiC and TiC crystals

電顕内イオン照射動的観察装置とこの装置のSiCおよびTiC結晶に対する応用

北條 喜一; 古野 茂実; 大津 仁; 出井 数彦; 塚本 哲生*

not registered; not registered; not registered; Izui, Kazuhiko; not registered

当研究室においてイオン照射に伴う点欠陥形成とイオン注入とを同時に進行する条件下での損傷の動的過程を透過型電顕内でその場観察する装置を設置した。この装置の概要及びその応用例について報告する。イオン照射系はイオン銃(デュオプラズマ型)と選別マグネット(30°偏向)及び電顕内付設静電プリズムよりなる。イオン電流は試料上でビーム径1mm$$phi$$に対して約1$$mu$$A(He$$^{+}$$イオン:10KeV)である。又試料は加熱ホルダーで約800$$^{circ}$$Cまで加熱することができる。電顕内蛍光板上の像は高感度撮像管を通してTVモニターで観察しつつVTRに録画できる。 この装置を用いてSiCおよびTiC結晶に室温でFlux3$$times$$10$$^{1}$$$$^{4}$$ions・cm$$^{-}$$$$^{2}$$・sec$$^{-}$$$$^{1}$$(10KeV)でHe$$^{+}$$イオンを照射した結果、SiCは初期段階で非晶質化し、さらにfluenceを増加させ10$$^{1}$$$$^{7}$$・cm$$^{-}$$$$^{2}$$オーダになるとバブルの成長・合体が急激に起った。TiCはSiCと違い非晶質化はせず微細な転位ループが多数発生することがわかった。

no abstracts in English

使用言語

 :

English

掲載資料名

 :

Journal of Nuclear Materials

巻

 :

155-157

号

 :

ページ数

 :

p.298 - 302

発行年月

 :

1988/00

発表会議名

 :

開催年月

 :

開催都市

 :

開催国

 :

キーワード

 :

電子顕微鏡; その場観察; イオン照射損傷; ヘリウムイオン; SiC結晶; TiC結晶; ヘリウムバブル; 転位ループ; ブリスタリング

特許データ

 :

PDF

 :


論文URL

 :

https://doi.org/10.1016/0022-3115(88)90258-9

研究データの公開先DOI

 :

使用施設

 :

広報プレスリリース

 :

論文解説記事
(成果普及情報誌)

 :

受委託・共同研究相手機関

 :

Access

 :

- Accesses

InCites™

 :

パーセンタイル：91.98

分野：Materials Science, Multidisciplinary

Altmetrics

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